1、真空泵机组工作原理叶片的叶轮偏心安装在圆柱形泵壳内。一定量的水被注入泵中。当叶轮旋转时，水被甩到泵壳上形成水环，水环的内表面与叶轮的轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心，右半毂与水环之间的进气空间逐渐扩大，从而形成真空，使气体通过进气管进入泵内的进气空间。然后气体进入左半部，由于轮毂圈之间的容积逐渐压缩，压力加大，于是气体通过排气空间和排气管排到泵外。
　　2、旋片真空泵的工作原理：
　　旋片真空泵是一种油封机械真空泵。属于低真空泵。可单独使用，也可作为其他真空泵的前级泵。它已广泛应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油和医药等生产和科研部门。
　　3、罗茨真空泵的工作原理：
　　罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的连续旋转，泵送气体从空气入口被吸入转子和泵壳之间的空间v0，然后通过空气出口排出。由于v0空间在吸入后完全关闭，泵室中的气体不会被压缩和膨胀。然而，当转子的顶部翻转排气口的边缘并且v0空间与排气侧连通时，由于排气侧的高气体压力，一些气体被冲回到空间v0中，这突然增加了气体压力。当转子继续旋转时，气体从泵中排出。