一、低真空机组：
　　工作压力高，排气量大，多用于真空输送、真空浸渍等。主泵正排量手动干油泵常用的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵，喷射泵、分子筛吸附泵都可以胜任。但根据泵送气体的清洁度、湿度等条件，需要除尘器，气水油水分离器、干燥捕集器等设施。
　　二、中真空机组：
　　适用于涂布机、真空冶炼、真空热处理、医药化工、电焊等行业需要高抽速并获得中等真空的各种真空系统。过去多由罗茨真空泵油封机械泵、罗茨真空水环真空泵、双罗茨真空泵组成，随着螺杆真空泵，等无油手动干油泵的崛起，罗茨真空泵、螺杆真空泵等无油真空机组逐渐增多，适应性更广。
　　三、高真空机组
　　该装置的主泵通常为油扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接在大气中工作，因此需要配备预抽泵或前置维护泵。一些扩散泵高真空泵机组还配有前级储气罐，以防止气压波动并提高机组性能。